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P 17自動ウェハプローブ式輪郭計/段差計
Nano observer電気原子間力顕微鏡
EM−AFM電子顕微鏡その場原子間力顕微鏡
SERSチップ基板
多機能マスクレスレーザー直写
光学表面欠陥分析計
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Explorer電子ビーム、マグネトロン、熱蒸発薄膜堆積
DV−502熱蒸発薄膜堆積
Desktop Pro薄膜堆積−マグネトロンスパッタリング
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フリーサーフェス3 Dファセット検出器
ウェハ曲げ応力測定器
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電子顕微鏡サンプル洗浄機
CMP 20電気化学機械研磨機
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VITA反応イオンエッチング機（垂直チャンバ）
COWIN高フラックス総合プラズマ反応イオンエッチング洗浄システム
LAVIDAポリパラキシレンコーティング装置
Coシリーズデスクトッププラズマエッチングマシン洗浄機
CLONEデュアルモードプラズマエッチングマシン洗浄機
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MezAFM-携帯型原子間力顕微鏡
レーザサンプリング
精密ガラス切断機（テーブルタイプ）
ADR低温恒温乾式mKシステム
液体粒径計-LPC
高温3 Dプリンタ
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S 100型デジタルソーステーブル
NX 12生体型原子間力顕微鏡
Zeta-388自動マルチモード光学プロファイル装置
TS 200-HP高出力プローブ台
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TS 2000-DP高出力プローブ台
TS 50手動小型プローブ台
TS 2500-RF全自動無線周波数プローブ台
TS 3000自動プローブ台
MicroXAM 800白色光干渉計
TS 300 12インチ手動プローブ台
MDO 34オシロスコープ
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パルスレーザ蒸着システム（PLD）
アクティブ防振台AMT
Duramin-100硬度計
3インチナノインプリントNIL 75
その場自動ナノオペレーティングシステム
その場MEMSチップとシンクロトロン放射Holder
In−SEM HT高温インサイチュナノインデンテーション計
Duramin-4硬度計
高温インサイチュナノインデンテーション計
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アクティブ防振台PMT
Diener Picoプラズマ洗浄機
Diener FEMTOプラズマ洗浄機
FT-NMT 04ナノ力学性能試験システム
ACCUTOM-10/-100切断装置
X 1シリーズデジタル調整可能乾燥キャビネット
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DM 4500 P半自動知能デジタル偏光顕微鏡
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徂徠カードMシリーズ立体顕微鏡LeicAM 125/165 C/205 C/205 A
DM 750 P専門偏光顕微鏡
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徂徠カード室温超薄型スライス機Leica EM UC 7
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Estableアクティブ防振台
BI−4500高フラックス全自動表面プラズマ共振器
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TS 150 6寸手動プローブ台
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